《微系统技术》- （德） W.Menz，J.Mohr，O.Paul，王春海，于杰等译 - 读书评论

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微系统技术

作者：（德） W.Menz，J.Mohr，O.Paul，王春海，于杰等译

出版社：化学工业出版社

出版日期：2003年09月

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内容简介

本书是德国WILEY-VCH出版社“Microsystem Technology”一书的中译本，讲述微系统技术领域内的相关内容。全书分为10章，前4章介绍微系统技术的基础知识、如微系统与微结构间的相互关系、单晶硅的生产、微系统技术的物理和化学基础等；5-10章为本书核心，详细介绍微系统技术的基本工艺方法，包括光刻技术、硅技术、LIGA技术(X射线电镀成型)、封装技术等。
本书可作为高校相关专业学生的等候课教材和课外读物，也适用于微系统技术的专业人员和对微系统技术感兴趣的人员阅读。

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工业技术电工技术电机

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