《微电子机械系统》- 姜岩峰编著 - 读书评论

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微电子机械系统

作者：姜岩峰编著

出版社：化学工业出版社

出版日期：2006年03月

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内容简介

本书介绍了微电子机械系统（MEMS）相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。主要内容分为五个部分，首先讲述了MEMS的相关力学量测量方法，然后介绍了MEMS中的主要工艺，在此基础上，系统介绍了MEMS系统中的传感器，包括传感器的原理、结构和实现方法，另外对MEMS器件的使用方法和应用范围进行了讨论，最后阐述了MEMS系统仿真方面的内容。
本书适合于高等院校微电子专业本科生或研究生教学参考使用，也可供从事MEMS领域研究的科技人员参考。

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工业技术电子通信微电子学、集成电路（IC）

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