个人简介
水野文夫,明星大学理工学部电工电子系统工学主任、教授,工学博士、工程师(电工电子),名古屋大学研究生院电子工程专业毕业。曾就职于(株)日立制作所,2001年至今在明星大学任教授。专业领域:半导体及纳米技术等。
内容简介
本书是半导体器件和半导体技术入门书,内容包括半导体的基本知识、各种半导体及集成电路,此外还以较大篇幅介绍集成电路制造技术及其技术要素。这些知识不仅是半导体技术的基础,而且对于以MEMS为代表的超精密技术也是非常重要的。
本书深入浅出、图文并茂的叙述方式,有助于初学者进一步理解集成电路技术。本书给出的丰富信息量和对先进技术发展动向的分析,也有利于集成电路产业的管理人员和技术人员的知识更新。
本书可以作为微电子技术及相近专业本科生的教学参考书,亦可作为从事导体、集成电路产业的管理、技术人员的自学用书。